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MTS를 사용한 LPCVD법에 의한 (100)Si 위의 β-SiC 증착 및 계면특성
MTS를 사용한 LPCVD법에 의한 (100)Si 위의 β-SiC 증착 및 계면특성 / 최두진 ; 김준우
MTS를 사용한 LPCVD법에 의한 (100)Si 위의 β-SiC 증착 및 계면특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
MTS를 사용한 LPCVD법에 의한 (100)Si 위의 β-SiC 증착 및 계면특성 / 최두진 ; 김준우
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1997
형태사항  
pp.825
키워드  
MTS LPCVD 증착 계면특성
기타저자  
최두진
기타저자  
김준우
기본자료저록  
요업학회지 : vol.34,no.8(183) 1997, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83971

MARC

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