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신구대학교 학술정보원
도서명 :
MTS를 사용한 LPCVD법에 의한
(100)Si 위의 β-SiC 증착 및 계면특성
저 자 :
최두진
청구기호 :
소장처 :
연속간행물실
대출요구사항 :
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