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MTS를 사용한 LPCVD법에 의한 (100)Si 위의 β-SiC 증착 및 계면특성
MTS를 사용한 LPCVD법에 의한 (100)Si 위의 β-SiC 증착 및 계면특성
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MARC
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■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1997
■300 ▼app.825
■653 ▼aMTS▼aLPCVD▼a증착▼a계면특성
■700 ▼a최두진
■700 ▼a김준우
■773 ▼t요업학회지▼gvol.34,no.8(183)▼d1997, 10
■SIS ▼aS003765▼b30305▼h4▼s2
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