자료유형  

 보고서

ISSN  

12297801

서명/저자  

PECVD법에 의한 3C-SiC 막 증착(I), 증착변수에 따른 Sic 증착거동 / 서지윤 ; 윤석영 ; 김광호

발행사항  

서울 : 한국세라믹학회, 2001.

형태사항  

pp. 531

키워드  

PECVD법 3CSIC SIC

기타저자  

서지윤

기타저자  

윤석영

기타저자  

김광호

기본자료저록  

한국세라믹학회지 : 2001년 6월 (제38권 6호) 2001, 06

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URL  

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Control Number  

shingu:66104