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PECVD법에 의한 3C-SiC막 증착(Ⅱ): Nanoindentation 방법을 이용한 SiC 막의 기계적성질
PECVD법에 의한 3C-SiC막 증착(Ⅱ): Nanoindentation 방법을 이용한 SiC 막의 기계적성질
Detailed Information
- 자료유형
- 보고서
- ISSN
- 12297801
- 서명/저자
- PECVD법에 의한 3C-SiC막 증착(Ⅱ): Nanoindentation 방법을 이용한 SiC 막의 기계적성질 / 윤석영 ; 서지윤, 김창열...
- 발행사항
- 서울 : 한국세라믹학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 365
- 기타저자
- 윤석영
- 기타저자
- 서지윤, 김창열...
- URL
- http://
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:143436
MARC
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