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입력기체비를 이용한 미세구조 변화로부터 화학증착 탄화규소의 복층구조 제작
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■773 ▼t요업학회지▼g9월호(통권208호)▼d1999, 10
■SIS ▼aS003812▼b30305▼h4▼s2
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