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기상반응에 의한 β-SiC 초미분말 합성시 수소 가스유량과 TMS 농도의 영향
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■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1999
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■773 ▼t요업학회지▼g8월호(통권207호)▼d1999, 09
■SIS ▼aS003811▼b30305▼h4▼s2
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