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이온빔 보조 증착법을 이용하여 제작된 SnO₂에 초박막 Pd가 첨가된 박막형 가스센서의 메탄가스 감지특성
이온빔 보조 증착법을 이용하여 제작된 SnO₂에 초박막 Pd가 첨가된 박막형 가스센서의 메탄가스 감지특성
Detailed Information
MARC
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■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1998
■300 ▼app.795
■653 ▼a이온빔▼a보조▼a증착법▼a제작된▼a초박막▼a첨가된▼a박막형▼a가스센서▼a메탄가스▼a감지특성
■700 ▼a조정
■700 ▼a조준식
■700 ▼a윤기현 외
■773 ▼t요업학회지▼gvol.35,no.8(195)▼d1998, 09
■SIS ▼aS003799▼b30305▼h4▼s2
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