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기판 Etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가
기판 Etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가 / 조성진 ; 이광렬 ; 은광용 외
기판 Etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
기판 Etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가 / 조성진 ; 이광렬 ; 은광용 외
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1998
형태사항  
pp.813
키워드  
기판 Etching 기법 DLC 필름 탄성특성 평가
기타저자  
조성진
기타저자  
이광렬
기타저자  
은광용 외
기본자료저록  
요업학회지 : vol.35,no.8(195) 1998, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:84123

MARC

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