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기판 Etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가
기판 Etching 기법을 이용한 DLC 필름의 탄성특성 평가
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.35,no.8(195)▼d1998, 09
■SIS ▼aS003799▼b30305▼h4▼s2
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