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Sputter Seeding을 이용한 CVD Cu 박막의 비선택적 증착 및 기판의 영향
Sputter Seeding을 이용한 CVD Cu 박막의 비선택적 증착 및 기판의 영향 / 박종만 ; 김석 ; 최두...
Sputter Seeding을 이용한 CVD Cu 박막의 비선택적 증착 및 기판의 영향

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
Sputter Seeding을 이용한 CVD Cu 박막의 비선택적 증착 및 기판의 영향 / 박종만 ; 김석 ; 최두진 ; 고대홍
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1998
형태사항  
pp.827
키워드  
Sputter Seeding 박막 비선택적 증착 기판 영향
기타저자  
박종만
기타저자  
김석
기타저자  
최두진
기타저자  
고대홍
기본자료저록  
요업학회지 : vol.35,no.8(195) 1998, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:84110

MARC

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