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H₂N₂희석기체에 따른 화학증착 탄화규소의 성장거동
H₂N₂희석기체에 따른 화학증착 탄화규소의 성장거동 / 이영진 ; 왕채현 ; 최두진 ; 박지연 ; ...
H₂N₂희석기체에 따른 화학증착 탄화규소의 성장거동

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
H₂N₂희석기체에 따른 화학증착 탄화규소의 성장거동 / 이영진 ; 왕채현 ; 최두진 ; 박지연 ; 홍계원
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1998
형태사항  
pp.764
키워드  
희석기체 화학증착 탄화규소 성장거동
기타저자  
이영진
기타저자  
왕채현
기타저자  
최두진
기타저자  
박지연
기타저자  
홍계원
기본자료저록  
요업학회지 : vol.35,no.7(194) 1998, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:84107

MARC

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