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H₂N₂희석기체에 따른 화학증착 탄화규소의 성장거동
H₂N₂희석기체에 따른 화학증착 탄화규소의 성장거동
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■653 ▼a희석기체▼a화학증착▼a탄화규소▼a성장거동
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.35,no.7(194)▼d1998, 08
■SIS ▼aS003798▼b30305▼h4▼s2
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| AR84107 | 연속간행물실 | 마이폴더 |
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