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SiO₂박막을 이용한 SOI 직접접합공정 및 특성
SiO₂박막을 이용한  SOI 직접접합공정 및 특성 / 신동운 ; 최두진 ; 김긍호
SiO₂박막을 이용한 SOI 직접접합공정 및 특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
SiO₂박막을 이용한 SOI 직접접합공정 및 특성 / 신동운 ; 최두진 ; 김긍호
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1998
형태사항  
pp.535
키워드  
박막 직접접합공정 특성
기타저자  
신동운
기타저자  
최두진
기타저자  
김긍호
기본자료저록  
요업학회지 : vol.35,no.6 1998, 07
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:84083

MARC

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