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SiO₂박막을 이용한 SOI 직접접합공정 및 특성
SiO₂박막을 이용한 SOI 직접접합공정 및 특성
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■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1998
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■653 ▼a박막▼a직접접합공정▼a특성
■700 ▼a신동운
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.35,no.6▼d1998, 07
■SIS ▼aS003797▼b30305▼h4▼s2
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| AR84083 | 연속간행물실 | 마이폴더 |
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