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Modified RF Magnetron Sputtering에 의해 Pt/Ti/SiO₂/Si 기판위에 제조된 강유전체 SrBi₂Ta₂O9 박막의 미세구조 및 전기적 특성 연구
Modified RF Magnetron Sputtering에 의해 Pt/Ti/SiO₂/Si 기판위에 제조된 강유전체 SrBi₂Ta₂O9 박막의 미세구조 및 전기적 특성 연구
상세정보
- 자료유형
- 보고서
- ISBN
- 10485104
- 서명/저자
- Modified RF Magnetron Sputtering에 의해 Pt/Ti/SiO₂/Si 기판위에 제조된 강유전체 SrBi₂Ta₂O9 박막의 미세구조 및 전기적 특성 연구 / 양철훈 ; 윤순길
- 발행사항
- 서울 : 한국요업학회, 1998
- 형태사항
- pp.472
- 기타저자
- 양철훈
- 기타저자
- 윤순길
- 기본자료저록
- 요업학회지 : vol.35,no.5 1998, 06
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- shingu:84068
MARC
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