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급속 후 열처리 및 실리콘 기판 배향에 따른 MOCVD-TiO₂박막의 구조적.전기적 특성
급속 후 열처리 및 실리콘 기판 배향에 따른 MOCVD-TiO₂박막의 구조적.전기적 특성 / 왕채현 ; ...
급속 후 열처리 및 실리콘 기판 배향에 따른 MOCVD-TiO₂박막의 구조적.전기적 특성

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자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
급속 후 열처리 및 실리콘 기판 배향에 따른 MOCVD-TiO₂박막의 구조적.전기적 특성 / 왕채현 ; 최두진
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1998
형태사항  
pp.88
키워드  
급속 열처리 실리콘 기판 배향 MOCVD 박막 구조적 전기적
기타저자  
왕채현
기타저자  
최두진
기본자료저록  
요업학회지 : vol.35,no.1 1998, 03
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:84008

MARC

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