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기판온도 및 스퍼터가스에 따른 ZnO 박막의 우선배향성,화학조성,물리적특성 변화
기판온도 및 스퍼터가스에 따른 ZnO 박막의 우선배향성,화학조성,물리적특성 변화
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■700 ▼a김병진
■700 ▼a조남희
■773 ▼t요업학회지▼gvol.34,no.12(187)▼d1998, 01
■SIS ▼aS003775▼b30305▼h4▼s2
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| AR84002 | 연속간행물실 | 마이폴더 |
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