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Thin Oxide 불량에 미치는 Czochralski Si 웨이퍼의 미소결함의 영향
Thin Oxide 불량에 미치는 Czochralski Si 웨이퍼의 미소결함의 영향
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■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1997
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■653 ▼a불량▼aCzochralski▼a웨이퍼▼a미소결함▼a영향
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■700 ▼a이은구
■773 ▼t요업학회지▼gvol.34,no.7(182)▼d1997, 10
■SIS ▼aS003764▼b30305▼h4▼s2
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