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금속유기 화학증착법으로 증착시킨 RuO₂박막의 성장에 미치는 증착온도와 산소의 영향
금속유기 화학증착법으로 증착시킨 RuO₂박막의 성장에 미치는 증착온도와 산소의 영향 / 신웅철...
금속유기 화학증착법으로 증착시킨 RuO₂박막의 성장에 미치는 증착온도와 산소의 영향

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
금속유기 화학증착법으로 증착시킨 RuO₂박막의 성장에 미치는 증착온도와 산소의 영향 / 신웅철 ; 윤순길
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1997
형태사항  
pp.241
키워드  
금속유기 화학증착법 증착시킨 박막 성장 증착온도 산소 영향
기타저자  
신웅철
기타저자  
윤순길
기본자료저록  
요업학회지 : vol.34,no.3(178) 1997, 05
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83907

MARC

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