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BCI₃-NH₃-Ar계의 플라즈마화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성
BCI₃-NH₃-Ar계의 플라즈마화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성 / 박범수 ; 백영준 ; 은광...
BCI₃-NH₃-Ar계의 플라즈마화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
BCI₃-NH₃-Ar계의 플라즈마화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성 / 박범수 ; 백영준 ; 은광용
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1997
형태사항  
pp.249
키워드  
플라즈마화학증착공정 질화붕소막 합성
기타저자  
박범수
기타저자  
백영준
기타저자  
은광용
기본자료저록  
요업학회지 : vol.34,no.3(178) 1997, 05
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83904

MARC

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