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BCI₃-NH₃-Ar계의 플라즈마화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성
BCI₃-NH₃-Ar계의 플라즈마화학증착공정을 이용한 질화붕소막의 합성
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MARC
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■653 ▼a플라즈마화학증착공정▼a질화붕소막▼a합성
■700 ▼a박범수
■700 ▼a백영준
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.34,no.3(178)▼d1997, 05
■SIS ▼aS003753▼b30305▼h4▼s2
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