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단일 이온빔 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 증착
단일 이온빔 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 증착
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■SIS ▼aS003763▼b30305▼h4▼s2
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| AR83895 | 연속간행물실 | 마이폴더 |
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