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단일 이온빔 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 증착
단일 이온빔 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 증착 / 이재빈 ; 주한용 ; 이용의 ; 김형준 ;
단일 이온빔 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 증착

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
단일 이온빔 스퍼터링법을 이용한 AIN 박막의 증착 / 이재빈 ; 주한용 ; 이용의 ; 김형준 ;
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1997
형태사항  
pp.209
키워드  
단일 이온빔 스퍼터링법 AIN 박막 증착
기타저자  
이재빈
기타저자  
주한용
기타저자  
이용의
기타저자  
김형준
기타저자  
김형준
기본자료저록  
요업학회지 : vol.34,no.2(177) 1997, 04
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83895

MARC

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