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희석기체가 화학증착 탄화규소의 성장거동에 미치는 영향
희석기체가 화학증착 탄화규소의 성장거동에 미치는 영향 / 최두진 ; 김한수
희석기체가 화학증착 탄화규소의 성장거동에 미치는 영향

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
희석기체가 화학증착 탄화규소의 성장거동에 미치는 영향 / 최두진 ; 김한수
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1997
형태사항  
pp.131
키워드  
희석기체 화학증착 탄화규소 성장거동 영향
기타저자  
최두진
기타저자  
김한수
기본자료저록  
요업학회지 : vol.34,no.2(177) 1997, 04
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83888

MARC

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