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희석기체가 화학증착 탄화규소의 성장거동에 미치는 영향
희석기체가 화학증착 탄화규소의 성장거동에 미치는 영향
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■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1997
■300 ▼app.131
■653 ▼a희석기체▼a화학증착▼a탄화규소▼a성장거동▼a영향
■700 ▼a최두진
■700 ▼a김한수
■773 ▼t요업학회지▼gvol.34,no.2(177)▼d1997, 04
■SIS ▼aS003763▼b30305▼h4▼s2
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