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Hot-wall MOCVD에의한 RuO₂박막의 특성
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MARC
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■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1996
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■653 ▼aHot-wall▼aMOCVD▼aRuO₂▼a박막▼a특성
■700 ▼a신웅철
■700 ▼a윤순길
■773 ▼t요업학회지▼gV.33,No. 9( 9월호)▼d1996, 10
■SIS ▼aS003740▼b30305▼h4▼s2
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| AR83778 | 연속간행물실 | 마이폴더 |
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