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두꺼운 이중층 Co/Ti 막의 실리사이드화에 관한 연구 / 이병욱 ; 권영재 ; 이종무 ; 김영욱 ; 이...

두꺼운 이중층 Co/Ti 막의 실리사이드화에 관한 연구

자료유형: 보고서

ISBN: 10485104

서명/저자: 두꺼운 이중층 Co/Ti 막의 실리사이드화에 관한 연구 / 이병욱 ; 권영재 ; 이종무 ; 김영욱 ; 이수천

발행사항: 서울 : 한국요업학회, 1996

형태사항: pp.1012

키워드: 두꺼운 이중층 실리사이드화

기타저자: 이병욱

기타저자: 권영재

기타저자: 이종무

기타저자: 김영욱

기타저자: 이수천

기본자료저록: 요업학회지 : vol.33,no.9(172) 1996, 09

모체레코드: 모체정보확인

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