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Hot-wall MOCVD에 의한 RuO₂박막의 특성
Hot-wall MOCVD에 의한 RuO₂박막의 특성 / 신웅철 ; 윤순길
Hot-wall MOCVD에 의한 RuO₂박막의 특성

상세정보

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
Hot-wall MOCVD에 의한 RuO₂박막의 특성 / 신웅철 ; 윤순길
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1996
형태사항  
pp.969
키워드  
Hot-wall MOCVD RuO₂ 박막 특성
기타저자  
신웅철
기타저자  
윤순길
기본자료저록  
요업학회지 : vol.33,no.9(172) 1996, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83755

MARC

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