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Hot-wall MOCVD에 의한 RuO₂박막의 특성
Hot-wall MOCVD에 의한 RuO₂박막의 특성
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MARC
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■700 ▼a신웅철
■700 ▼a윤순길
■773 ▼t요업학회지▼gvol.33,no.9(172)▼d1996, 09
■SIS ▼aS003791▼b30305▼h4▼s2
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