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MOCVD법에 의한 PbTiO₃박막 증착시 Ti Bath 온도와 기판온도 변화에 따른 박막의 증착특성
MOCVD법에 의한 PbTiO₃박막 증착시 Ti Bath 온도와 기판온도 변화에 따른 박막의 증착특성
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.33,no.4(167)▼d1996, 04
■SIS ▼aS003772▼b30305▼h4▼s2
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