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DC Magnetron Sputtering에 의한 ATO박막의 제조(Ⅰ) 증착특성
DC Magnetron Sputtering에 의한 ATO박막의 제조(Ⅰ) 증착특성 / 윤천 ; 이혜용 ; 정윤중
DC Magnetron Sputtering에 의한 ATO박막의 제조(Ⅰ) 증착특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
DC Magnetron Sputtering에 의한 ATO박막의 제조(Ⅰ) 증착특성 / 윤천 ; 이혜용 ; 정윤중
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1996
형태사항  
pp.441
키워드  
DC Magnetron Sputtering ATO 박막 제조 증착특성
기타저자  
윤천
기타저자  
이혜용
기타저자  
정윤중
기본자료저록  
요업학회지 : vol.33,no.4(167) 1996, 04
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83610

MARC

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