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메틸클로로실란류의 열분해를 이용한 탄화규소의 화학증착
메틸클로로실란류의 열분해를 이용한 탄화규소의 화학증착 / 최병진 ; 박동원 ; 조미자 ; 김대룡
메틸클로로실란류의 열분해를 이용한 탄화규소의 화학증착

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
메틸클로로실란류의 열분해를 이용한 탄화규소의 화학증착 / 최병진 ; 박동원 ; 조미자 ; 김대룡
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1996
형태사항  
pp.489
키워드  
메틸클로로실란류 열분해 탄화규소 화학증착
기타저자  
최병진
기타저자  
박동원
기타저자  
조미자
기타저자  
김대룡
기본자료저록  
요업학회지 : vol.32,no.4(155) 1996, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83495

MARC

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