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메틸클로로실란류의 열분해를 이용한 탄화규소의 화학증착
메틸클로로실란류의 열분해를 이용한 탄화규소의 화학증착
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.32,no.4(155)▼d1996, 02
■SIS ▼aS003759▼b30305▼h4▼s2
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