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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 Ba0.65Sr0.35TiO₃박막의 전기적 특성 분석
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 Ba0.65Sr0.35TiO₃박막의 전기적 특성 분석 / 양기덕 ;...
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 Ba0.65Sr0.35TiO₃박막의 전기적 특성 분석

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 Ba0.65Sr0.35TiO₃박막의 전기적 특성 분석 / 양기덕 ; 조호진 ; 조해석 ; 김형준
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1996
형태사항  
pp.441
키워드  
RF 마그네트론 스퍼터링법 증착 박막 전기적 특성 분석
기타저자  
양기덕
기타저자  
조호진
기타저자  
조해석
기타저자  
김형준
기본자료저록  
요업학회지 : vol.32,no.4(155) 1996, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83487

MARC

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