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화학증착 탄화규소에 의한 흑연의 표면개질 연구ㅡ수평형 화학증착반응관에서 탄화규소 성장 특성
화학증착 탄화규소에 의한 흑연의 표면개질 연구ㅡ수평형 화학증착반응관에서 탄화규소 성장 특성
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.32,no.4(155)▼d1996, 02
■SIS ▼aS003759▼b30305▼h4▼s2
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