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Furnace로 N₂O분위기에서 성장시킨 Oxynitride 절연막 특성
Furnace로 N₂O분위기에서 성장시킨 Oxynitride 절연막 특성
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.32,no.1(152)▼d1996, 02
■SIS ▼aS003756▼b30305▼h4▼s2
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