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Furnace로 N₂O분위기에서 성장시킨 Oxynitride 절연막 특성
Furnace로 N₂O분위기에서 성장시킨 Oxynitride 절연막 특성 / 이은구 ; 박인길 ; 박진성
Furnace로 N₂O분위기에서 성장시킨 Oxynitride 절연막 특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
Furnace로 N₂O분위기에서 성장시킨 Oxynitride 절연막 특성 / 이은구 ; 박인길 ; 박진성
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1996
형태사항  
pp.31
키워드  
Furnace N₂O 분위기 성장 Oxynitride 절연막 특성
기타저자  
이은구
기타저자  
박인길
기타저자  
박진성
기본자료저록  
요업학회지 : vol.32,no.1(152) 1996, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83452

MARC

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