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유기금속 화학 기상증착법으로 실리콘 기판위에 증착된 질소치환 TiO₂박막의 특성분석
유기금속 화학 기상증착법으로 실리콘 기판위에 증착된 질소치환 TiO₂박막의 특성분석
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■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1994
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.31no.12(151)▼d1994, 12
■SIS ▼aS003790▼b30305▼h4▼s2
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