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ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 Ta₂O 5 박막의 유전 특성
ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 Ta₂O 5 박막의 유전 특성 / 조복원 ; 안성덕 ; 이원종
ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 Ta₂O 5 박막의 유전 특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 Ta₂O 5 박막의 유전 특성 / 조복원 ; 안성덕 ; 이원종
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1994
형태사항  
pp.1330
키워드  
ECR-플라즈마 화학 증착법 Ta₂O 5 박막 유전 특성
기타저자  
조복원
기타저자  
안성덕
기타저자  
이원종
기본자료저록  
요업학회지 : vol.31,no.11(150) 1994, 11
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83384

MARC

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