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TiN 박막의 증착특성에 미치는 플라즈마 화학증착변수들의 영향
TiN 박막의 증착특성에 미치는 플라즈마 화학증착변수들의 영향 / 이정래 ; 김광호 ; 신동원 ; ...
TiN 박막의 증착특성에 미치는 플라즈마 화학증착변수들의 영향

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
TiN 박막의 증착특성에 미치는 플라즈마 화학증착변수들의 영향 / 이정래 ; 김광호 ; 신동원 ; 박찬경 ;
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1994
형태사항  
pp.1188
키워드  
TiN 박막의 증착특성에 미치는 플라즈마 화학증착변수들의 영향
기타저자  
이정래
기타저자  
김광호
기타저자  
신동원
기타저자  
박찬경
기타저자  
박찬경
기본자료저록  
요업학회지 : vol.31,no.10(149) 1994, 10
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83365

MARC

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