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RF Magnetron Sputtering법으로 BaTiO₃박막 증착시 O₂/Ar비가 박막의 특성에 미치는 영향
RF Magnetron Sputtering법으로 BaTiO₃박막 증착시 O₂/Ar비가 박막의 특성에 미치는 영향 / 안...
RF Magnetron Sputtering법으로 BaTiO₃박막 증착시 O₂/Ar비가 박막의 특성에 미치는 영향

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
RF Magnetron Sputtering법으로 BaTiO₃박막 증착시 O₂/Ar비가 박막의 특성에 미치는 영향 / 안재민 ; 최덕균 ; 김영호 ;
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1994
형태사항  
pp.886
키워드  
RF Magnetron Sputtering BaTiO₃박막 O₂/Ar비가 박막 특성 영향
기타저자  
안재민
기타저자  
최덕균
기타저자  
김영호
기타저자  
김영호
기본자료저록  
요업학회지 : vol.34,no.8(147) 1994, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83326

MARC

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