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RF Magnetron Sputtering법으로 BaTiO₃박막 증착시 O₂/Ar비가 박막의 특성에 미치는 영향
RF Magnetron Sputtering법으로 BaTiO₃박막 증착시 O₂/Ar비가 박막의 특성에 미치는 영향
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.34,no.8(147)▼d1994, 08
■SIS ▼aS003781▼b30305▼h4▼s2
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