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플라즈마 화학증착법,이온 플레이팅법 및 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성 비교 연구
플라즈마 화학증착법,이온 플레이팅법 및 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성 비...
플라즈마 화학증착법,이온 플레이팅법 및 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성 비교 연구

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
플라즈마 화학증착법,이온 플레이팅법 및 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성 비교 연구 / 인치범 ; 정병진 ; 이원종 ; 천성순
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1994
형태사항  
pp.731
키워드  
플라즈마 화학증착법,이온 플레이팅법 반응성 스퍼터링법 증착 TiN 박막 특성 비교 연구
기타저자  
인치범
기타저자  
정병진
기타저자  
이원종
기타저자  
천성순
기본자료저록  
요업학회지 : vol.31,no.7(146) 1994, 07
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83318

MARC

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