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플라즈마 화학증착법,이온 플레이팅법 및 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성 비교 연구
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.31,no.7(146)▼d1994, 07
■SIS ▼aS003780▼b30305▼h4▼s2
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