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ECR-플라즈마 화학 증착된 알루미늄 산화막 연구
ECR-플라즈마 화학 증착된 알루미늄 산화막 연구 / 이재균 ; 전병혁 ; 이원종
ECR-플라즈마 화학 증착된 알루미늄 산화막 연구

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
ECR-플라즈마 화학 증착된 알루미늄 산화막 연구 / 이재균 ; 전병혁 ; 이원종
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1994
형태사항  
pp.601
키워드  
ECR-플라즈마 화학 증착 알루미늄 산화막 연구
기타저자  
이재균
기타저자  
전병혁
기타저자  
이원종
기본자료저록  
요업학회지 : vol.31,no.6(145) 1994, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83307

MARC

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