자료유형  

 보고서

ISBN  

10485104

서명/저자  

Reactive RF 마그네트론 스퍼터링법으로 Si(100) 기판에 MgO박막 제조시 증착변수의 영향 / 이영준 ; 백성기

발행사항  

서울 : 한국요업학회, 1994

형태사항  

pp.643

키워드  

Reactive 마그네트론 스퍼터링법 기판 제조시 증착변수 영향

기타저자  

이영준

기타저자  

백성기

기본자료저록  

요업학회지 : vol.31,no.6(145) 1994, 06

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Control Number  

shingu:83295