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Reactive RF 마그네트론 스퍼터링법으로 Si(100) 기판에 MgO박막 제조시 증착변수의 영향
Reactive RF 마그네트론 스퍼터링법으로 Si(100) 기판에 MgO박막 제조시 증착변수의 영향
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MARC
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■773 ▼t요업학회지▼gvol.31,no.6(145)▼d1994, 06
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|---|---|---|---|---|
| AR83295 | 연속간행물실 | My Folder |
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