서브메뉴
검색
Details
플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성
플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성
Detailed Information
MARC
008011106c1994 ulka a kor■020 ▼a10485104
■245 ▼a플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성▼d김재환▼e김형석▼e이원종
■260 ▼a서울▼b한국요업학회▼c1994
■300 ▼app.485
■653 ▼a플라즈마▼a화학증착한▼a알루미늄▼a산화박막▼aCCI₄플라즈마▼a반응성▼a이온식각▼a특성
■700 ▼a김재환
■700 ▼a김형석
■700 ▼a이원종
■773 ▼t요업학회지▼gvol.31,no.5(144)▼d1994, 05
■SIS ▼aS003769▼b30305▼h4▼s2
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
פרט מידע
- הזמנה
- לא קיים
- הספר להשאיל הבקשה
- התיקיה שלי
- צפה הראשון בקשה
| Reg No. | Call No. | מיקום | מצב | להשאיל מידע |
|---|---|---|---|---|
| AR83287 | 연속간행물실 | My Folder |
* הזמנות זמינים בספר ההשאלה. כדי להזמין, נא לחץ על כפתור ההזמנה


