본문

서브메뉴

Details

플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성
플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성 / 김재환 ...
플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성

Detailed Information

자료유형  
 보고서
ISBN  
10485104
서명/저자  
플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성 / 김재환 ; 김형석 ; 이원종
발행사항  
서울 : 한국요업학회, 1994
형태사항  
pp.485
키워드  
플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막 CCI₄플라즈마 반응성 이온식각 특성
기타저자  
김재환
기타저자  
김형석
기타저자  
이원종
기본자료저록  
요업학회지 : vol.31,no.5(144) 1994, 05
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
shingu:83287

MARC

 008011106c1994        ulka    a                          kor
■020    ▼a10485104
■245    ▼a플라즈마  화학증착한  알루미늄  산화박막의  CCI₄플라즈마에서의  반응성  이온식각  특성▼d김재환▼e김형석▼e이원종
■260    ▼a서울▼b한국요업학회▼c1994
■300    ▼app.485
■653    ▼a플라즈마▼a화학증착한▼a알루미늄▼a산화박막▼aCCI₄플라즈마▼a반응성▼a이온식각▼a특성
■700    ▼a김재환
■700    ▼a김형석
■700    ▼a이원종
■773    ▼t요업학회지▼gvol.31,no.5(144)▼d1994,  05
■SIS    ▼aS003769▼b30305▼h4▼s2

Preview

Export

ChatGPT Discussion

AI Recommended Related Books


    New Books MORE
    Related books MORE
    Statistics for the past 3 years. Go to brief

    Подробнее информация.

    • Бронирование
    • не существует
    • Книга оказать запросу
    • моя папка
    • Первый запрос зрения
    материал
    Reg No. Количество платежных Местоположение статус Ленд информации
    AR83287 연속간행물실 My Folder

    * Бронирование доступны в заимствований книги. Чтобы сделать предварительный заказ, пожалуйста, нажмите кнопку бронирование

    Books borrowed together with this book

    Related books

    Related Popular Books

    도서위치