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플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성
플라즈마 화학증착한 알루미늄 산화박막의 CCI₄플라즈마에서의 반응성 이온식각 특성
상세정보
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